??应用：应用于研发实验中心大型真空腔体装备：液晶注入装备，大灯涂布装备，工具镀膜装备，晶体生长制程装备，等离子洗濯机，真空排气系统，晶圆检测装备，真空溅镀机，卷对卷式涂布装备，真空加热装备，薄膜太阳能电池镀膜装备等