全系列半导体及光伏行业卧式扩散炉等热处置惩罚装备的高质量加热炉体热场,知足4-18寸晶圆及电池片制造工艺,独吞的自动化制作工艺手艺,专业的生产制造理念,作育加热炉所具有更宽的工艺温度规模及更高的恒温区精度、稳固性,以及更长的使用寿命
炉体类型
气体快速升降温型(专利手艺)、水冷型、高温型、通俗型
保温棉材质及包装形态:英国Morgan、软态包裹式/真空成型式
加热质料品牌:瑞典KANTHAL A-1、APM、HRE加热丝等
产品应用:卧式扩散炉、氧化炉、LPCVD、PECVD、光伏扩散炉等全系列炉型
匹配装备品牌:拉普拉斯、Tempress、48所、捷佳伟创、北方华创等海内外着名品牌装备商